Структура и фазовый состав ионно-плазменных покрытий Al-Si-N
Ласковнев, А. П., Волочко, А. Т., Марков, Г. В., Углов, В. В., Русальский, Д. П., Мисуно, П. Н.
Структура и фазовый состав ионно-плазменных покрытий Al-Si-N, [Текст]
ил., табл.
Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-тэхнічных навук, 2012, № 1. - С. 17-21
