Поиск

Структура и фазовый состав ионно-плазменных покрытий Al-Si-N

Авторы: Ласковнев, А. П. Волочко, А. Т. Марков, Г. В. Углов, В. В. Русальский, Д. П. Мисуно, П. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 548.162:539.12.04
Структура и фазовый состав ионно-плазменных покрытий Al-Si-N
Текст
Весці Нацыянальнай акадэміі навук Беларусі. Серыя фізіка-тэхнічных навук
2012
№ 1. - С. 17-21