Определение примесей кислорода и углерода в поликристаллическом кремнии методом ИК-спектрометрии
Ковалев, И. Д., Котерева, Т. В., Гусев, А. В., Гавва, В. А., Овчинников, Д. К.
Определение примесей кислорода и углерода в поликристаллическом кремнии методом ИК-спектрометрии, [Текст]
Ил.6
Журнал аналитической химии, 2008, Т.63, № 3.- С.274-278