Поиск

Определение примесей кислорода и углерода в поликристаллическом кремнии методом ИК-спектрометрии

Авторы: Ковалев, И. Д. Котерева, Т. В. Гусев, А. В. Гавва, В. А. Овчинников, Д. К.
Подробная информация
Индекс УДК 543.062.42
Определение примесей кислорода и углерода в поликристаллическом кремнии методом ИК-спектрометрии
Текст
Журнал аналитической химии
2008
Т.63, № 3.- С.274-278