| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/239972368 |
| Дата корректировки | 7:47:05 8 февраля 2023 г. |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| rus | |
| BY | |
| 539.23.234 | |
| 44-06 | |
| Тульев, В. В. | |
|
Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий Текст |
|
|
Рис. 4 Табл. 1 |
|
| Библиогр.: 11 назв. | |
|
кремний осаждение покрытия топография поверхности физика |
|
|
Ташлыков, И. С. Барайшук, С. М. Уляшко, П. В. |
|
|
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика 2006 Вып.14. - С. 85-87 |
|
| Тип документа | b |
