|
Механические свойства и топография поверхности кремния, модифицированного ионно-ассистированным осаждением покрытий Текст |
|
|
Рис. 4 Табл. 1 |
|
|
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика 2006 Вып.14. - С. 85-87 |
