| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/383754924 |
| Дата корректировки | 7:47:05 8 февраля 2023 г. |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| rus | |
| BY | |
| 539 | |
| 44-02 | |
| Бобрович, О. Г. | |
|
Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения Текст |
|
| Рис. 5 | |
| Библиогр.: 7 назв. | |
|
кремний металлосодержащие покрытия осаждение самооблучение физика |
|
|
Ташлыков, И. С. Михалкович, О. М. |
|
|
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика 2006 Вып. 14. - С. 82-84 |
|
| Тип документа | b |
