|
Повреждение структуры кремния при ионно-ассистированном осаждении металлосодержащего покрытия в условиях самооблучения Текст |
|
| Рис. 5 | |
|
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика 2006 Вып. 14. - С. 82-84 |
