Поиск

Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании

Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич Михалкович, О. М. Ташлыков, И. С.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n 22 7 4500
Контрольный номер RU/IS/BASE/386680058
Дата корректировки 10:00:26 26 апреля 2025 г.
Служба первич. каталог. BY-HM0026
БГТУ
rus
53
Бобрович, Олег Георгиевич
доцент
Бобрович, О. Г.
Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании
Текст
Библиогр.: 8 назв.
вольфрам
ионное ассистирование
кремний
покрытия
титан
Другие авторы Михалкович, О. М.
Ташлыков, И. С.
Организация/ юрисдикция Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет"
Другие уровни Кафедра физики
Учреждение образования "Белорусский государственный педагогический университет"
Физика и химия обработки материалов
2014
№ 1. - С. 31-36
Тип документа b