Поиск

Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании

Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич Михалкович, О. М. Ташлыков, И. С.
Местонахождение Подробная информация
Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании
Текст
Другие авторы Михалкович, О. М.
Физика и химия обработки материалов
2014
№ 1. - С. 31-36