Поиск

Состав Ti/Si и Co/Si, сформированных ионно-ассистируемым осаждением

Авторы: Тульев, Валентин Валентинович
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/718726882
Дата корректировки 8:19:15 8 февраля 2023 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Служба первич. каталог. Крот
БГТУ
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.1.06:539.23.234
Автор Тульев, Валентин Валентинович
Полное имя В. В. Тульев
Состав Ti/Si и Co/Si, сформированных ионно-ассистируемым осаждением
Текст
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2022
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 9 назв.
Ключевые слова ионно-ассистируемое осаждение
кремний
кобальт
титан
водород
резер-фордовское обратное рассеяние
метод резонансных ядерных реакций
Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика
2022
№ 2 (260). - С. 60-64
RU/IS/BASE/718532206
[ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года
2520-6141
Тип документа b