| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, Валентин Валентинович |
|
Состав Ti/Si и Co/Si, сформированных ионно-ассистируемым осаждением Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2022 |
| Ключевые слова | ионно-ассистируемое осаждение |
|
Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика 2022 № 2 (260). - С. 60-64 RU/IS/BASE/718532206 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 2520-6141 |
