| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/706018802 |
| Дата корректировки | 8:18:30 8 февраля 2023 г. |
| Служба первич. каталог. |
Перепелкина БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.035.221.32 |
|
Олиферович, Надежда Михайловна Н. М. Олиферович |
|
|
Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Ключевые слова |
газоанализаторы магнетронное распыление оксидные пленки пленочные газовые сенсоры полупроводниковые материалы полупроводниковые сенсоры чувствительность датчиков чувствительные элементы газоанализаторов |
|
Анкуда, Максим Анатольевич М. А. Анкуда Карпович, Дмитрий Семенович Д. С. Карпович |
|
| Белорусский государственный технологический университет | |
|
Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Брестского государственного технического университета, Брест, 29-30 сентября 2021 г. Брест : БрГТУ, 2021 С. 13-16 |
|
| Тип документа | b |
