| Индекс УДК | 621.382.035.221.32 |
|
Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова |
газоанализаторы магнетронное распыление оксидные пленки пленочные газовые сенсоры полупроводниковые материалы полупроводниковые сенсоры чувствительность датчиков чувствительные элементы газоанализаторов |
|
Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Брестского государственного технического университета, Брест, 29-30 сентября 2021 г. Брест : БрГТУ, 2021 С. 13-16 |
