| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/697042414 |
| Дата корректировки | 11:07:47 26 апреля 2025 г. |
| ISBN | 978-985-530-920-9 |
| Служба первич. каталог. |
BY-HM0026 БГТУ БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28.004 |
| Автор | Локун, Р. А. |
|
Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2021 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | табл. |
| Библиография | Библиогр.: 2 назв. |
| Ключевые слова | процесс травления кремния |
|
травление кремния пластины монокристаллического кремния кремниевые пластины кислотные травители монокристаллический кремний |
|
|
Мурашкевич, Анна Николаевна Мурашкевич, А. Н. |
|
|
Белорусский государственный технологический университет Кафедра химии, технологии электрохимических производств и материалов электронной техники |
|
|
RU/IS/BASE/696343831 Инновационные материалы и технологии - 2021 Минск : БГТУ, 2021 С. 594-597 |
|
| Тип документа | b |
