| Индекс УДК | 546.28.004 |
| Автор | Локун, Р. А. |
|
Усовершенствование процесса травления кремния в технологии производства пластин монокристаллического кремния Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2021 |
| Ключевые слова | процесс травления кремния |
|
RU/IS/BASE/696343831 Инновационные материалы и технологии - 2021 Минск : БГТУ, 2021 С. 594-597 |
