| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/658323790 |
| Дата корректировки | 8:12:00 8 февраля 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. |
Свежинцева БГТУ БГТУ |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, В. В. |
|
Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Ключевые слова | приповерхностные слои |
|
ионно-ассистируемое осаждение осаждение в вакууме металлсодержащие покрытия осаждение покрытий послойный элементный анализ резерфордовское обратное рассеяние распределение водорода в покрытиях время осаждения покрытия |
|
|
Информационные технологии Минск : БГТУ, 2020 C. 238-240 RU/IS/BASE/638440206 |
|
| Тип документа | b |
