| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Тульев, В. В. |
|
Влияние ионно-ассистируемого осаждения на содержание водорода в структурах Me/Si Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Ключевые слова | приповерхностные слои |
|
Информационные технологии Минск : БГТУ, 2020 C. 238-240 RU/IS/BASE/638440206 |
