| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/658323078 |
| Дата корректировки | 8:12:00 8 февраля 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. |
Свежинцева БГТУ БГТУ |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.211:539.188 |
| Автор | Бобрович, О. Г. |
|
Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Библиография | Библиогр.: 1 назв. |
| Ключевые слова | арсенид галлия |
|
имплантация ионов полупроводниковые материалы радиационные дефекты кинетика накопления дефектов структуры дефекты структуры арсенида галлия ионное внедрение |
|
|
Информационные технологии Минск : БГТУ, 2020 С. 235-237 RU/IS/BASE/638440206 |
|
| Тип документа | b |
