| Индекс УДК | 539.211:539.188 |
| Автор | Бобрович, О. Г. |
|
Дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов алюминия Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2020 |
| Ключевые слова | арсенид галлия |
|
Информационные технологии Минск : БГТУ, 2020 С. 235-237 RU/IS/BASE/638440206 |
