Поиск

Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования

Авторы: Барайшук, С. М. Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/606912026
Дата корректировки 8:08:45 8 февраля 2023 г.
Служба первич. каталог. Яновская
БГТУ
БГТУ
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.178.12/.15-022.532
Автор Барайшук, С. М.
Полное имя С. М. Байрашук
Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 2 назв.
механические свойства материалов
нанотвердость
топография поверхности
модифицирование поверхности материалов
кремний
нанесение покрытий
ионно-ассистированное нанесение
ионное ассистирование
Другие авторы Тульев, Валентин Валентинович
Полное имя В. В. Тульев
Ташлыков, Игорь Серафимович
И. С. Ташлыков
Белорусский государственный педагогический университет
Белорусский государственный технологический университет
Кафедра физики
Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 8-й Международной конференции, 23-25 сентября 2009 г.
Минск : Издательский центр БГУ, 2009
С. 246-248
Тип документа b