Поиск

Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования

Авторы: Барайшук, С. М. Тульев, Валентин Валентинович Ташлыков, Игорь Серафимович
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 621.178.12/.15-022.532
Автор Барайшук, С. М.
Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования
Текст
Другие авторы Тульев, Валентин Валентинович
Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 8-й Международной конференции, 23-25 сентября 2009 г.
Минск : Издательский центр БГУ, 2009
С. 246-248