Индекс УДК | 621.178.12/.15-022.532 |
Автор | Барайшук, С. М. |
Нанотвердость и топография поверхности кремния с Ti, Co, Zr, Mo покрытиями, осажденными в условиях ионного ассистирования Текст |
|
Другие авторы | Тульев, Валентин Валентинович |
Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 8-й Международной конференции, 23-25 сентября 2009 г. Минск : Издательский центр БГУ, 2009 С. 246-248 |