| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/469895446 |
| Дата корректировки | 7:59:42 8 февраля 2023 г. |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
| Титул (звания) | доцент |
| Полное имя | Бобрович, О. Г. |
|
Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 8 назв. |
| Ключевые слова |
ионно-ассистируемое нанесение ионно-ассистируемое осаждение металлические покрытия резерфордовское обратное рассеяние тонкие пленки |
| Другие авторы | Ташлыков, И. С. |
| Титул (звание) | профессор |
| Полное имя | Ташлыков, И. С. |
|
Тульев, Валентин Валентинович доцент Тульев, В. В. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный технологический университет |
| Другие уровни | Кафедра физики |
|
Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика 2014 С. 74-76 RU/IS/BASE/469633091 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
|
| Тип документа | b |
