| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
|
Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si-структур Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
ионно-ассистируемое нанесение ионно-ассистируемое осаждение металлические покрытия резерфордовское обратное рассеяние тонкие пленки |
| Другие авторы | Ташлыков, И. С. |
|
Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика 2014 С. 74-76 RU/IS/BASE/469633091 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
