| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/363714389 |
| Дата корректировки | 7:54:56 8 февраля 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. |
БГТУ БГТУ |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.23 |
|
Ташлыков, Игорь Серафимович профессор Ташлыков, И. С. |
|
|
Состав и нанотвердость покрытий Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения Текст |
|
| Библиография | Библиогр.: 29 назв. |
|
ионно-ассистированное осаждение кремний нанотвердость покрытия |
|
|
Барайшук, С. М. Тульев, Валентин Валентинович доцент Тульев, В. В. Гременок, В. Ф. |
|
|
Белорусский государственный педагогический университет Белорусский государственный технологический университет Кафедра физики Научно-практический центр по материаловедению Национальной академии наук Беларуси |
|
|
Физика и химия обработки материалов 2011 № 1. С. 66-70 |
|
| Тип документа | b |
