Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Труды сотрудников БГТУ
  3. Состав и нанотвердость покрытий Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения
Поиск

Состав и нанотвердость покрытий Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения

Авторы: Ташлыков, Игорь Серафимович Барайшук, С. М. Тульев, Валентин Валентинович Гременок, В. Ф.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 539.23
Состав и нанотвердость покрытий Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения
Текст
Физика и химия обработки материалов
2011
№ 1. С. 66-70