Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Cu/Al-структур
Тульев, Валентин Валентинович, Ташлыков, Игорь Серафимович, Литвинов, Дмитрий Анатольевич
Влияние параметров осаждения на толщину модифицированного слоя при динамическом атомном перемешивании Cu/Al-структур, [Текст]
Минск :
БГТУ ,
2013 .-
ил.
Труды БГТУ. №6. Физико-математические науки и информатика, 2013, С. 66-68, RU/IS/BASE/436093064