Состав и нанотвердость покрытий Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения
Ташлыков, Игорь Серафимович, Барайшук, С. М., Тульев, Валентин Валентинович, Гременок, В. Ф.
Состав и нанотвердость покрытий Si, полученных методом ионно-ассистированного осаждения, [Текст]
Физика и химия обработки материалов, 2011, № 1. С. 66-70
