Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур
Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур, [Текст], отчет о НИР (заключительный), Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. А. Е. Почтенный ; исполн.: А. Е. Почтенный, Н. Я. Шишкин, Н. В. Богомазова, Е. В. Мирончик, И. В. Бычек, А. И. Кудрявцева, И. О. Оробей
Минск :
2010 .-
115, [7] с. .-
ил., табл.
Имеется копия на электронном носителе .-
