| Индекс УДК | 546.814+539.23 |
|
Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур Текст отчет о НИР (заключительный) Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. А. Е. Почтенный ; исполн.: А. Е. Почтенный, Н. Я. Шишкин, Н. В. Богомазова, Е. В. Мирончик, И. В. Бычек, А. И. Кудрявцева, И. О. Оробей |
|
| Основные сведения об издании | ГБ 26-113 ; ГР 20064119 |
| Дополнительные сведения об издании | Инв. 7266н.о. |
| Место издания | Минск |
| Дата издания оригинала | 2010 |
| Объем | 115, [7] с. |
| Примечание | Имеется копия на электронном носителе |
| Ключевые слова | физико-технологические методы |
