| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/362591629 |
| Дата корректировки | 15:17:45 11 апреля 2025 г. |
| Вид содержания и средства доступа | б. ц. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | BY-HM0026 |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546(043.3) |
| Данилович, Владимир Сергеевич | |
|
Исследование химической и структурной неоднородности диэлектрических слоев МДП-структур Текст автореф. дис. ... канд. химических наук : 02.00.01 Академия наук, Сибирское отделение, Институт неорганической химии |
|
| Место издания | Новосибирск |
| Дата издания | 1978 |
| Объем | 20, [1] с. |
| Аннотация | Исследован механизм термического окисления кремния. |
|
кремний окисление химическая неоднородность структурная неоднородность полупроводниковое приборостроение неорганическая химия |
|
|
Академия наук Сибирское отделение Институт неорганической химии |
