Поиск

Исследование химической и структурной неоднородности диэлектрических слоев МДП-структур

Авторы: Данилович, Владимир Сергеевич
Подробная информация
Индекс УДК 546(043.3)
Исследование химической и структурной неоднородности диэлектрических слоев МДП-структур
Текст
автореф. дис. ... канд. химических наук : 02.00.01
Академия наук, Сибирское отделение, Институт неорганической химии
Место издания Новосибирск
Дата издания 1978
Объем 20, [1] с.