Индекс УДК | 546(043.3) |
Исследование химической и структурной неоднородности диэлектрических слоев МДП-структур Текст автореф. дис. ... канд. химических наук : 02.00.01 Академия наук, Сибирское отделение, Институт неорганической химии |
|
Место издания | Новосибирск |
Дата издания | 1978 |
Объем | 20, [1] с. |