| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/458144050 |
| Дата корректировки | 8:48:56 27 августа 2014 г. |
| ISBN | 5-9616-0155-2 |
| Вид содержания и средства доступа | 50000-00 |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Радюк |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 533.9(075.8) |
| Полочн. индекс | 533 |
| Авторский знак | Е 92 |
|
Ефремов, А. М. Ефремов, А. М. |
|
|
Вакуумно-плазменные процессы и технологии Текст учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" Федеральное агентство по образованию Российской Федерации, Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ивановский государственный химико-технологический университет |
|
| Место издания | Иваново |
| Издательство | Ивановский государственный химико-технологический университет |
| Дата издания оригинала | 2006 |
| Объем | 260 с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Аннотация | Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. |
| Ключевые слова | плазма |
|
вакуумно-плазменные процессы физические свойства плазмы химические свойства плазмы электрический разряд неорганические материалы полимерные материалы плазменная обработка |
|
| Другие авторы | Светцов, В. И. |
| Полное имя | Светцов, В. И. |
|
Рыбкин, В. В. Рыбкин, В. В. |
|
| Организация/ юрисдикция | Федеральное агентство по образованию Российской Федерации |
| Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ивановский государственный химико-технологический университет | |
| Тип документа | m |
