| Индекс УДК | 533.9(075.8) |
|
Вакуумно-плазменные процессы и технологии Текст учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" Федеральное агентство по образованию Российской Федерации, Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ивановский государственный химико-технологический университет |
|
| Место издания | Иваново |
| Издательство | Ивановский государственный химико-технологический университет |
| Дата издания оригинала | 2006 |
| Объем | 260 с. |
| Аннотация | Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. |
| Ключевые слова | плазма |
| Другие авторы | Светцов, В. И. |
