Поиск

Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур

Авторы: Бобрович, Олег Георгиевич Ташлыков, И. С. Тульев, Валентин Валентинович
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/452682300
Дата корректировки 16:22:05 20 января 2021 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.1.06:539.23.234
Автор Бобрович, Олег Георгиевич
Титул (звания) доцент
Полное имя Бобрович, О. Г.
Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур
Электронный ресурс
БГТУ ; БГПУ
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2014
Ключевые слова ионно-ассистируемое осаждение
металлические покрытия
покрытия металлические
Другие авторы Ташлыков, И. С.
Титул (звание) профессор
Тульев, Валентин Валентинович
доцент
Тульев, В. В.
Организация/ юрисдикция Белорусский государственный технологический университет
Другие уровни Кафедра физики
Физико-математические науки
Минск : БГТУ, 2014
С. 19
RU/IS/BASE/452345381
Тип документа b