| Индекс УДК | 539.1.06:539.23.234 |
| Автор | Бобрович, Олег Георгиевич |
|
Влияние параметров ионно-ассистируемого осаждения на формирование Me/Si структур Электронный ресурс БГТУ ; БГПУ |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
ионно-ассистируемое осаждение металлические покрытия покрытия металлические |
| Другие авторы | Ташлыков, И. С. |
|
Физико-математические науки Минск : БГТУ, 2014 С. 19 RU/IS/BASE/452345381 |
