| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/449596526 |
| Дата корректировки | 10:51:33 8 апреля 2014 г. |
| ISBN |
978-5-369-01299-4 978-5-16-009298-0 978-5-16-100019-9 |
| Вид содержания и средства доступа | 176400-00 |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.38-022.532:544.6(075.8) |
| Полочн. индекс | 621.3 |
| Авторский знак | Г 12 |
|
Гаврилов, С. А. Гаврилов, С. А. |
|
|
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Текст учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100(550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)" |
|
| Основные сведения об издании | 2-е изд. |
| Место издания | Москва |
| Издательство | РИОР : ИНФРА-М |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Объем | 238, [1] с. |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Серия | Высшее образование: Бакалавриат: основана в 1996 г. |
| Аннотация | Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. |
| Ключевые слова | электрохимические процессы |
|
микроэлектроника наноэлектроника микроструктуры наноструктуры электронное равновесие электрохимическая кинетика электрохимия электроника |
|
| Другие авторы | Белов, А. Н. |
| Полное имя | Белов, А. Н. |
| Тип документа | m |
