| Индекс УДК | 621.38-022.532:544.6(075.8) |
|
Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники Текст учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника" и по специальностям 010803 (014100) "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы", 210100 "Электроника и микроэлектроника", 210100(550700) "Электроника и микроэлектроника (бакалавр)" |
|
| Основные сведения об издании | 2-е изд. |
| Место издания | Москва |
| Издательство | РИОР : ИНФРА-М |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Объем | 238, [1] с. |
| Аннотация | Книга посвящена научно-технологическим основам электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. |
| Ключевые слова | электрохимические процессы |
| Другие авторы | Белов, А. Н. |
