Поиск

Получение функциональных слоев оксида цинка для микроэлектроники

Авторы: Спицкий, С. И. Денисюк, С. В. Куданович, О. Н.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/787246561
Дата корректировки 15:36:01 11 декабря 2024 г.
ISBN 978-985-897-211-0
Служба первич. каталог. Шайковская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592.4
Спицкий, С. И.
Получение функциональных слоев оксида цинка для микроэлектроники
Место издания Минск
Издательство БГТУ
Дата издания оригинала 2024
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 3 назв.
Ключевые слова оксид цинка
микроэлектроника
пленки оксида цинка
метод ионного наслаивания
электролитическое осаждение
Другие авторы Денисюк, С. В.
Куданович, О. Н.
Организация/ юрисдикция Государственное научно-производственное объединение "Оптика, опто-электроника и лазерная техника"
RU/IS/BASE/777386410
Инновационные материалы и технологии - 2024
Минск : БГТУ, 2024
С. 106-109
Тип документа b