| Индекс УДК | 621.315.592.4 |
| Получение функциональных слоев оксида цинка для микроэлектроники | |
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2024 |
| Ключевые слова | оксид цинка |
| Другие авторы | Денисюк, С. В. |
|
RU/IS/BASE/777386410 Инновационные материалы и технологии - 2024 Минск : БГТУ, 2024 С. 106-109 |
