| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/756571709 |
| Дата корректировки | 14:48:29 22 декабря 2023 г. |
| ISBN | 978-985-08-3050-0 |
| Служба первич. каталог. | Шайковская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Шекелевский, В. В. | |
|
Применение метода Монте-Карло для оценки неравномерности покрытий, формируемых методом магнетронного распыления Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Ключевые слова | метод Монте-Карло |
|
магнетронное распыление ионно-плазменное распыление осаждение материала |
|
| Другие авторы | Логунов, К. Т. |
| Котов, Д. А. | |
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
RU/IS/BASE/749733209 Молодежь в науке - 2023 Минск : Беларуская навука, 2023 С. 652-654 |
|
| Тип документа | b |
