|
Применение метода Монте-Карло для оценки неравномерности покрытий, формируемых методом магнетронного распыления Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Ключевые слова | метод Монте-Карло |
| Другие авторы | Логунов, К. Т. |
|
RU/IS/BASE/749733209 Молодежь в науке - 2023 Минск : Беларуская навука, 2023 С. 652-654 |
