Поиск

Геометрические параметры газораспределителя и магнитного поля в реакторе плазмохимического осаждения алмазоподобных углеродных покрытий

Авторы: Леонович, Н. В. Котов, Д. А. Занько, А. И.
Местонахождение Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/756310819
Дата корректировки 14:20:19 19 декабря 2023 г.
ISBN 978-985-08-3050-0
Служба первич. каталог. Шайковская
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Леонович, Н. В.
Геометрические параметры газораспределителя и магнитного поля в реакторе плазмохимического осаждения алмазоподобных углеродных покрытий
Электронный ресурс
Место издания Минск
Издательство Беларуская навука
Дата издания оригинала 2023
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 4 назв.
Ключевые слова геометрические параметры газораспределителя
магнитное поле
реактор плазмохимического осаждения
алмазоподобные углеродные покрытия
Другие авторы Котов, Д. А.
Занько, А. И.
Организация/ юрисдикция Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
RU/IS/BASE/749733209
Молодежь в науке - 2023
Минск : Беларуская навука, 2023
С. 608-611
Тип документа b