|
Геометрические параметры газораспределителя и магнитного поля в реакторе плазмохимического осаждения алмазоподобных углеродных покрытий Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Ключевые слова | геометрические параметры газораспределителя |
| Другие авторы | Котов, Д. А. |
|
RU/IS/BASE/749733209 Молодежь в науке - 2023 Минск : Беларуская навука, 2023 С. 608-611 |
