| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/749902646 |
| Дата корректировки | 10:17:27 6 октября 2023 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка издания | rus |
| Автор | Воробьева, А. И. |
|
Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУИР |
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Библиография | Библиогр.: 3 назв. |
| Служебное примечание | Воробьёва, А. И. |
| Ключевые слова | трехмерные микроструктуры |
|
электрохимическое осаждение меди металлизация переходных отверстий кремниевые пластины |
|
| Другие авторы | Уткина, Е. А. |
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
|
Технические средства защиты информации Минск : БГУИР, 2023 С. 24-25 RU/IS/BASE/749662376 978-985-543-716-2 |
|
| Тип документа | b |
