| Автор | Воробьева, А. И. |
|
Металлизация переходных отверстий в кремниевых пластинах для создания трехмерных микроструктур Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУИР |
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Ключевые слова | трехмерные микроструктуры |
| Другие авторы | Уткина, Е. А. |
|
Технические средства защиты информации Минск : БГУИР, 2023 С. 24-25 RU/IS/BASE/749662376 978-985-543-716-2 |
