| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/741794178 |
| Дата корректировки | 13:56:18 4 июля 2023 г. |
| ISBN | 978-985-6441-65-6 (Кн. 1) |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.382.049.77+548.526 |
| Автор | Маркевич, М. И. |
|
Структура тонкопленочных наноматериалов, применяемых в технологиях микроэлектроники Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания | 2021 |
| Библиография | Библиогр.: 55 назв. |
| Ключевые слова | наноматериалы |
|
тонкопленочные наноматериалы микроэлектроника быстрый термический отжиг лазерное воздействие |
|
| Другие авторы | Чапланов, А. М. |
|
Обухов, В. Е. Зеленин, В. А. |
|
| Организация/ юрисдикция | Физико-технический институт НАН Беларуси |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2021 Кн. 1. - С. 188-207 RU/IS/BASE/740657161 |
|
| Тип документа | b |
