| Индекс УДК | 621.382.049.77+548.526 |
| Автор | Маркевич, М. И. |
|
Структура тонкопленочных наноматериалов, применяемых в технологиях микроэлектроники Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2021 |
| Ключевые слова | наноматериалы |
| Другие авторы | Чапланов, А. М. |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2021 Кн. 1. - С. 188-207 RU/IS/BASE/740657161 |
