| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/737564877 |
| Дата корректировки | 15:07:57 16 мая 2023 г. |
| Служба первич. каталог. | Шайковская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 538.9 |
| Леньшин, А. С. | |
|
Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2023 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | табл. |
| Библиография | Библиогр.: 1 назв. |
| Ключевые слова | режимы травления |
|
многослойный пористый кремний морфология поверхности кремния пористый кремний электрохимическое травление |
|
| Другие авторы | Пешков, Я. А. |
|
Черноусова, О. В. Канныкин, С. В. Гречкина, М. В. Агапов, Б. Л. |
|
| Организация/ юрисдикция | Воронежский государственный университет |
| Воронежский государственный университет инженерных технологий | |
|
RU/IS/BASE/733927329 Инновационные материалы и технологии - 2023 Минск : БГТУ, 2023 С. 171-172 |
|
| Тип документа | b |
