| Индекс УДК | 538.9 |
|
Влияние режимов травления на морфологию поверхности многослойного пористого кремния Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Ключевые слова | режимы травления |
| Другие авторы | Пешков, Я. А. |
|
RU/IS/BASE/733927329 Инновационные материалы и технологии - 2023 Минск : БГТУ, 2023 С. 171-172 |
